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壓電掃描臺,物鏡型高負載,兼容無磁高真空

簡要描述:Carrier.OB100HL.C,壓電掃描臺,物鏡型高負載,兼容無磁高真空
“Carrier.OB系列“ 大行程掃描載物臺 — 精密光學,半導體表征

  • 產品型號:Carrier.OBHL100.C
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-07-25
  • 訪  問  量:373

詳細介紹

壓電·大范圍掃描運動 Carrier.OB100HL.C

? 針對顯微物鏡的大負載、高動態、緊湊型解決方案,用于顯微成像、自動對焦等應用

 

 

Z 方向運動范圍 100 um;

最快穩定時間(90%位置穩定)10 ms以內;

閉環定位精度優于 1 nm;

最大負載 2 kg

控制器兼容多場科技MC-Archimedes Series;

?持無磁 (.NM) , 高真空 (.HV) 和超高真空(.UHV)選件升級;

 

壓電掃描臺,物鏡型高負載,兼容無磁高真空——詳細參數:

638481915607549522417.png

 

 

壓電掃描臺,物鏡型高負載,兼容無磁高真空——尺寸圖

638481915626768511772.jpg

 

多場科技“壓電掃描臺·物鏡型”解決方案Carrier.OB.系列主要針對精密光學,半導體表征等應用場景,核心特點包括:

• Z方向單一運動方向,行程覆蓋50, 100 & 400 um

• 快速運動穩定,10 ms內完成

• 支持高負載物鏡選項;提供多種物鏡轉接接口

• 支持第三方軟、硬件控制,實現自動對焦

• 支持電容(.C) 位置傳感

• 最高分辨率達到0.2 nm

• 支持無磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級

控制器兼容多場科技 Motion Controller - Archimedes Series

 

 

 

 

 

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